一、凈化空調(diào)系統(tǒng)目前，凈化空調(diào)主要有以下三種形式：A.二次回風系統(tǒng)這種系統(tǒng)中，室內(nèi)一次回風和新風混合后，經(jīng)過初效過濾器、加熱(冬季工況)、加濕(冬季工況)、冷卻(夏季工況)處理后與二次回風混合，再經(jīng)再熱、風機加壓、中效過濾器，最后經(jīng)末端高效送風口送至室內(nèi)。該系統(tǒng)一般設計為定風量，風機變頻控制主要為了克服過濾器阻力的變化。室內(nèi)相對濕度控制：通過室內(nèi)相對濕度傳感器，夏季控制冷水盤管的電動調(diào)節(jié)閥，冬季控制加濕器(干蒸氣加濕時)或控制熱水盤管的電動調(diào)節(jié)閥(循環(huán)水加濕時)。室內(nèi)溫度控制：通過室內(nèi)溫度傳感器控制再熱盤管的電動調(diào)節(jié)閥。該系統(tǒng)簡單，運行控制方便，可用于凈化級別ISO7級以下、室內(nèi)排風量確定的潔凈室。隨著凈化級別的提高，系統(tǒng)風量增大，機房面積增大，而且龐大的送回風管道難以布置，因此在凈化級別較高、面積較大、工藝排風不穩(wěn)定的廠房中極少使用B.新風機組+循環(huán)空調(diào)器系統(tǒng)這種系統(tǒng)中，新風獨立處理，新風機組設于新風空調(diào)機房內(nèi)，循環(huán)空調(diào)器設于生產(chǎn)廠房的吊頂上方。新風經(jīng)初效過濾器、加熱(冬季工況)、加濕(冬季工況)、冷卻(夏季工況)、再熱(調(diào)試時室內(nèi)熱負荷較小時使用)、風機加壓、中效過濾器處理后送至各循環(huán)空調(diào)器。新風和室內(nèi)回風在循環(huán)空調(diào)器中經(jīng)冷卻、風機加壓、亞高效過濾處理后經(jīng)末端高效送風口送至室內(nèi)。該系統(tǒng)一般設計為變風量，室內(nèi)壓差傳感器控制新風機變頻器保證室內(nèi)的壓力要求，室內(nèi)微粒傳感器控制循環(huán)空調(diào)...
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一、設備布置（1）設備布置應適應生產(chǎn)工藝調(diào)整的靈活性，并應滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的需求。（2）設備布置應綜合協(xié)調(diào)運行操作、施工安裝、維修、公用動力管線及各種技術設施的需求，并應符合下列要求：1應按水處理工藝流程順序和設備功能分區(qū)有序布置。2應布置合理、緊湊。3應減少對主操作區(qū)的噪聲干擾。4精處理或終端處理系統(tǒng)宜靠近主要用水設備。（3）純水站應設置必要的輔助間，其組成和面積應根據(jù)水站規(guī)模、企業(yè)的生產(chǎn)管理要求等確定。（4）空氣壓縮機.鼓風機等高噪聲設備，宜布置在單獨房間內(nèi)，并應采取減噪措施。（5）水處理設備布置在室外時.其運行操作部位及閥門、儀表、取樣裝置等宜集中布置，并應根據(jù)當?shù)貧夂蚯闆r采取相應的防凍、防雨、防曬、防風等保護措施。（6）反滲透裝置的兩端應有足夠的裝卸膜元件的操作空間。（7）在地面上不便操作、檢修的水處理設備和閥門等，應設置操作扶梯、檢修平臺和起吊裝置。（8）酸堿等藥劑貯存、配制設備區(qū)應避開人流通道，宜靠近制水區(qū)及貨運人口。（9）酸堿等藥劑貯存、配制設備區(qū)，應設置防護圍堤。堤內(nèi)設備基礎、地面、排水溝等應采取嚴格的防腐、防滲處理；不能滿足排放標準的地面排水應納人廢水處理系統(tǒng)進行處理。（10）設備間應有足夠的操作維修通道和必要的安全距離。主要操作通道的凈距不宜小于2.0m，輔助操作通道的凈距不宜小于0.8m，設備之間的凈距不宜小于0.6m。通道均應適合維...
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一、一般規(guī)定（1）電子工業(yè)純水的輸配管路形式應根據(jù)供水水量、純水水質(zhì)、用水設備布置，以及使用點水壓穩(wěn)定性要求，結合技術經(jīng)濟比較選擇同程式輸配系統(tǒng)、異程式輸配系統(tǒng)或單管循環(huán)等輸配水方式，并宜符合下列要求：1.對于小型純水輸配系統(tǒng)，當輸水主管管徑小于DN50且不超過15個用水點，對純水水質(zhì)要求不高或用水設備自身無回水要求時，宜采用單管循環(huán)輸配系統(tǒng)。2.對于大、中型純水輸配系統(tǒng)，水質(zhì)要求較高但用水點對供水水壓穩(wěn)定性要求不嚴格，或用水點數(shù)不多且便于手動調(diào)節(jié)時，宜采用異程式輸配系統(tǒng)。3.對于大、中型純水輸配系統(tǒng)，水質(zhì)要求高且用水點對供水水壓穩(wěn)定性要求嚴格，或用水點數(shù)多且不便于手動調(diào)節(jié)時，宜采用同程式輸配系統(tǒng)。（2）管道、閥門附件的選用應與純水水質(zhì)相匹配，并應滿足純水系統(tǒng)的使用條件，同時應與純水系統(tǒng)的使用溫度、消毒方式等相適應。（3）純水輸配管路根據(jù)不同純水水質(zhì)及使用條件要求可選擇不銹鋼管、聚氯乙烯、聚丙烯、潔凈聚氯乙烯或聚偏二氟乙烯等管材。在純水輸配系統(tǒng)的某些部位，聚氯乙烯、聚丙烯、潔凈聚氯乙烯或聚偏二氟乙烯等塑性管材不能滿足強度和使用溫度的要求時，可選擇相應的不銹鋼管材。（4）與純水直接接觸的設備內(nèi)表面應光潔、平整，化學性質(zhì)應穩(wěn)定、耐腐蝕.易清洗易消毒。（5） 純水輸配系統(tǒng)的工作壓力不得大于國家現(xiàn)行有關產(chǎn)品標準標稱的允許工作壓力。（6）熱純水的使 用應根據(jù)水量和使用點的分布特點結...
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一、防靜電接地靜電主要由不同物質(zhì)相互摩擦而產(chǎn)生，在電子廠房生產(chǎn)過程中，靜電所造成的危害是多方面的。首先，很多設備及儀器對靜電電壓比較敏感，靜電會影響其正常工作甚至出現(xiàn)錯誤；其次，由靜電產(chǎn)生的高電壓會引起人身觸電；另外，當靜電嚴重時可能會引起火花放電，嚴重的會造成火災事故。為了消除靜電所產(chǎn)生的危害，就必須采取措施。消除靜電的方法很多，但最簡單和最有效的辦法是采取接地措施。電子生產(chǎn)廠房中，對所有會產(chǎn)生靜電的設備都應保證可靠接地。為了防止積聚在設備和人身上的靜電荷達到危險電位，在主要生產(chǎn)場合采用了防靜電地坪。這類地坪在的防護材料中，分布有銅線構成的網(wǎng)絡，這些金屬網(wǎng)絡彼此形成電氣通路，用于防靜電地坪的靜電傳導。作為電氣設計配合，應在防靜電地坪所在空間的建筑柱上，適當預留接地端子。在地坪敷設完畢后，將防靜電地坪內(nèi)的金屬線與該接地端子相連。另外，接地端子須通過柱內(nèi)主筋與接地極連通，以使靜電通過接地端子沿柱內(nèi)主筋流向接地極。二、電子設備的接地電子設備的接地主要不是為了人身安全，而是為了設備工作的準確性。因為高頻電壓對人體并無傷害，而且電子設備的外殼即使不接地，并與地保持絕緣時，其設備外殼與地形成電容，隨著頻率增高，電容的電抗值將減少，當頻率達到一定數(shù)值時，就等于接地。但為了減少雜散電流對儀表讀數(shù)的影響，最好還是用短而粗的導線與地相連，一般采用6平方毫米的銅線，與設置在設備附近的專門的接地母排連接...
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一、火災探測器根據(jù)《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》，在選擇火災探測器種類時，要根據(jù)探測區(qū)域內(nèi)可能發(fā)生的初期火災的形成和發(fā)展特征、房間高度環(huán)境條件以及可能引起誤報的原因等因素來決定。對于火災時產(chǎn)生大量煙.且產(chǎn)生熱量少、火焰輻射少的場所，應設置感煙探測器；對于火災時產(chǎn)生大量熱的場所應設置感溫探測器；對于火災時產(chǎn)生大量火焰輻射的場所應設置火焰探測器；對于使用生產(chǎn)或聚集可燃氣體的場所，應設置可燃氣體探測器。也可以根據(jù)實際情況選擇幾種火災探測器的組合。在電子工業(yè)凈化廠房內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術夾層、機房、站房等建議設置點式智能型感煙探測器；在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應設置靈敏度高的早期煙霧報警探測器；廠房內(nèi)存儲可燃氣體(如硅烷)的氣瓶間、分配間，應設置紅外線紫外線探測器；在易燃、易爆、有毒氣體的存儲、分配間、氣瓶柜和分配閥門箱，使用危險氣體的工藝設備的氣體分配箱和排風管內(nèi)設置可燃氣體探測器。可燃氣體報警應獨立于火災自動報警系統(tǒng)設置，并且可燃氣體探測器動作后，應自動啟動相關部位的事故排風機，切斷進氣閥，啟動泄漏現(xiàn)場的聲光報警裝置和應急廣播。二、手動火災報警按鈕及消防專用電話潔凈廠房的生產(chǎn)區(qū)走道、可以通行的技術夾層應設置手動報警按鈕，手動報警按鈕應帶消防電話插孔。消防控制室應設置消防專用電話總機，且消防控制室應設置于潔凈廠房的非潔凈區(qū)域內(nèi)。除按照《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》規(guī)定，在消防...
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一、疏散方面的要求各類電子生產(chǎn)廠房的最大疏散距離的合理確定是廠房內(nèi)一旦出現(xiàn)火情時，操作人員安全疏散到安全地帶的重要保證。安全疏散距離的確定與人員疏散速度和允許的疏散時間有關，潔凈生產(chǎn)區(qū)寬約130m，建筑高度約26.5m，生產(chǎn)區(qū)內(nèi)任一點至安全出口的距離可能超過100m，超過現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》的規(guī)定。準確核實人員密度是分析人員安全疏散的基礎，不同使用功能的廠房以及一棟廠房內(nèi)不同用途的區(qū)域，其人員密度是不同的。二、電氣化方面的要求1.電源的可靠。消防電源的供電負荷等級，應處于最高供電等級。潔凈廠房的線路均在技術夾層內(nèi)明敷，通常傳輸線路與消防控制、通信、警報線路分管敷設，均應穿入金屬管，并且后者的金屬管外壁還應涂防火涂料。2.警報裝置。火災廣播及聲光警報裝置，對火災時引導人員正確疏散、指揮救火員及時準確進入火場滅火起著非常重要作用。火災時的疏散路線與日常工作時的凈化路線不同，應重視它們與事故照明、疏散指示標志的配合設置。3.照明有保障。設計一個實用可靠的火災應急照明供電方案至關重要。消防聯(lián)動控制要求：控制備用應急燈和疏散指示燈點亮。潔凈廠房應急照明和疏散指示燈供電方案常采用一路市電加分散式自帶蓄電池的應急燈。三、防排煙系統(tǒng)的要求電子工廠潔凈廠房有三種基本類型：單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室，在各類潔凈廠房的設計建造中，其共同的特點是管線多，由于送風量大，一般風管尺...
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一、微電子工業(yè)潔凈廠房設計的相關內(nèi)容探討作為微電子工業(yè)生產(chǎn)中重要的設施組成之一，潔凈廠房生產(chǎn)應用中所發(fā)揮的作用巨大，并包含了多個組成部分，像空氣凈化系統(tǒng)、高純氣體供應系統(tǒng)等。微電子工業(yè)潔凈廠房設計的特點包括：(1)在潔凈廠房設計方案形成過程中，需要根據(jù)實際情況，對空氣潔凈等級、高純物質(zhì)等進行充分考慮，滿足相應的技術要求；(2)為了提高微電子工業(yè)潔凈廠房實踐應用中的潔凈度，需要與之相關的專業(yè)操作中不引入或少引入污染物，并注重不同專業(yè)間的配合操作；(3)微電子工業(yè)潔凈廠房設計應達到安全生產(chǎn)及環(huán)保要求，且其生產(chǎn)中污染物的排放應達到行業(yè)標準要求。同時，為了更好地適應時代的發(fā)展要求，微電子工業(yè)潔凈廠房設計中應考慮靈活性要求。除此之外，在微電子工業(yè)潔凈廠房設計方法運用中，需要注重其位置選擇、總平面布置及平面布置，滿足生產(chǎn)工藝要求，提升潔凈廠房設計水平。二、微電子工業(yè)潔凈廠房的設計分析1.潔凈廠房暖通空調(diào)的設計分析在實現(xiàn)微電子工業(yè)潔凈廠房科學設計的過程中，需要在氣體動力專業(yè)、弱電專業(yè)、建筑專業(yè)等不同專業(yè)的配合作用下，保持潔凈廠房良好的設計效果。實踐中進行微電子工業(yè)潔凈廠房暖通空調(diào)設計工作時，可從以下方面入手：注重生產(chǎn)區(qū)凈化空調(diào)系統(tǒng)與動力支持區(qū)降溫空調(diào)系統(tǒng)設計。在對凈化空調(diào)系統(tǒng)進行設計時，設計人員應強化自身的責任意識，且在行業(yè)技術規(guī)范的要求下，落實好相應的設計工作。在該系統(tǒng)設計工作中，需要做到：根...
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電子工業(yè)潔凈廠房工程施工過程中，重視工程管理可以提升工作質(zhì)量，保證各項工作的有序開展。在實踐中要基于規(guī)范要求以及潔凈施工的規(guī)范，綜合施工現(xiàn)場潔凈度控制的要求與規(guī)范，根據(jù)規(guī)范要求合理施工，作業(yè)，通過分級管理的方式加強對電子工業(yè)潔凈廠房工程控制，進而在根本上保障施工質(zhì)量。在此工程中，其具體的工程管理內(nèi)容如下：一、一般潔凈階段一般潔凈階段就是在建設中土建圍護結構完成的階段，是常規(guī)設備安裝階段，其主要的工作內(nèi)容就是機械設備、送.排風系統(tǒng)以及吊頂支架安裝等相關內(nèi)容，在施工中對于現(xiàn)場的施工清潔程度并沒有較為特殊的要求，要根據(jù)規(guī)范要求有序開展，在施工重要做好以下幾點：第一，工作人員要在規(guī)范的進出口施工，要根據(jù)要求更換軟底球鞋，避免其他人員進入到潔凈區(qū)中；第二，在施工過程中，進入潔凈區(qū)之前要及時處理機械設備、工具以及材料等相關設備，保障其清潔度，要根據(jù)規(guī)范要求加強對機械設備的管控。第三，在潔凈區(qū)域中要根據(jù)規(guī)范要求合理搬運設備，避免其碰撞壁板或者頂板。要保障工具或者材料離地搬運，符合清潔要求。第四，在施工中產(chǎn)生的廢棄物要及時清理,避免在現(xiàn)場中堆積，應用的工具、材料遠離潔凈區(qū)域。第五，在進行污染性的作業(yè)中,要通過吸塵器進行同步清潔，在施工區(qū)域中通過塑料薄膜進行隔離。第六，在施工現(xiàn)場中要加強保護管理，堆放的材料要做好處理。第七，在刷漆或者涂刷材料過程中，要通過有效措施及時保護，避免在現(xiàn)場中存放油漆涂料以...
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一、電子廠房潔凈室節(jié)能設計1.潔凈室類型潔凈處理指的是空氣懸浮粒子的濃度以及受控指標進行調(diào)整后，需要做好后續(xù)控制和管理的一種處理方式?？紤]到功能指標以及環(huán)境濃度要求，要做好溫度、聲光和濕度等控制工作，按照體系流程要求對其進行評價和設計。潔凈室按照對象分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室等類型，工業(yè)潔凈室起到明顯“過濾”作用，根據(jù)潔凈室控制類型以及污染類型要求，需要合理應用精密儀器、化學工業(yè)和電子工業(yè)等。生物潔凈室的有效控制起到關鍵作用，通常情況下在醫(yī)療和生物工程階段使用，根據(jù)廠房設計規(guī)范和具體要求，必須掌握氣流類型，根據(jù)截面速度和流向?qū)ζ溥M行控制。以平行流線和單一設計形式作為基礎，如果氣流以不均勻的速度流動，可能會伴有清除作用。非單向流也稱之為氣流，以不均勻的速度移動，對污染物進行稀釋后，能清除室內(nèi)污染物?？紤]到輻射潔凈室以及單向流程要求，要提前對污染物進行調(diào)整，做好均勻性研究工作，滿足自適應控制要求。2.潔凈技術分析潔凈室控制機制比較特殊，在應用過程中能減少污染量，由于污染量發(fā)生在設備設置和管理工程范圍內(nèi)?；谝雅懦龅奈廴绢愋停绻嬖谏勺饔?，則可以采用適當?shù)拇胧┻M行處理，避免對氣流組織產(chǎn)生影響。潔凈技術不斷發(fā)展，和空氣潔凈技術有密切的聯(lián)系，根據(jù)系統(tǒng)應用流程和指標要求，需要對凈化系統(tǒng)、管道輸送系統(tǒng)等進行評價，按照系統(tǒng)流程要求進行。此外需要做好控制污染的工作，控制污染源，排除已發(fā)生的污染現(xiàn)...
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空調(diào)風系統(tǒng)側(cè)和水系統(tǒng)側(cè)均有節(jié)能的潛力。從風系統(tǒng)側(cè)來說，空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能方式主要有：采用大溫差低溫送風；合理確定新風量(考慮過渡季節(jié)全新風的空調(diào)系統(tǒng))；風系統(tǒng)能量回收；變風量送風；溫濕度獨立控制；二次回風系統(tǒng)。風系統(tǒng)側(cè)1)大溫差低溫送風有低溫冷源可以利用的全空氣空調(diào)系統(tǒng)，可以采用大溫差送風形式，這種方式送風量小，風機能耗小，輸送風管尺寸小。但是最小送風量必須使房間空氣混合良好，不要出現(xiàn)冷熱不均的現(xiàn)象。這類空調(diào)系統(tǒng)在民用建筑中應用較廣，也可以用于某些溫濕度要求不高的工業(yè)建筑，醫(yī)藥潔凈廠房需要較大送風量，所以基本不會采用。2)風系統(tǒng)能量回收當排風量較大，新風溫度與排風溫度之差較大時，可以采用風側(cè)能量回收(顯熱回收和潛熱回收)的節(jié)能方式。選用能量回收方式時，其新風和排風要有一定的溫差才有效，建議新、排風溫差≥8 ℃。另外，不同地區(qū)冬夏季的能量回收效果不同，就北方地區(qū)(如北京)而言，冬季能量回收效果遠好于夏季。能量回收既可以用于民用空調(diào)系統(tǒng)，也可以用于工業(yè)空調(diào)系統(tǒng)，醫(yī)藥潔凈廠房中應用也較多。轉(zhuǎn)輪式能量回收有顯熱回收和全熱回收2種方式，全熱回收效率一般可達60%，顯熱回收效率一般可達50%。冬季一般采用顯熱回收，夏季根據(jù)排風和新風的狀態(tài)點可能采用顯熱回收也可能采用全熱回收。轉(zhuǎn)輪式能量回收設備使用范圍廣，但是投資費用高。由于轉(zhuǎn)輪式能量回收設備新風和排風有相互接觸的可能性，藥廠使用時要慎重。這類能量...
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