集成電路潔凈廠(chǎng)房是為了滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD (靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級(jí)污染物)控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。一、FFU系統(tǒng)已成主流方案根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類(lèi)型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。第一種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用,對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈室則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿(mǎn)足集成電路制造潔凈室大面積高等級(jí)的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級(jí)改造困難,因此操作靈活性很低。第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計(jì)方案。FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是:整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成,由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力,將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過(guò)超高效過(guò)濾器送入工藝層和工藝輔助層,靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外,還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠(chǎng)務(wù)設(shè)備區(qū)域,包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。二、AM...
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IC 生產(chǎn)由于其工藝加工線(xiàn)寬極小,所以對(duì)溫濕度的精度要求很高,通常溫度精度為土0.3~±0.5℃,相對(duì)濕度精度為±2%~±3%。該類(lèi)廠(chǎng)房潔凈室一般采用新風(fēng)集中處理加FFU系統(tǒng),在下夾層或.上靜壓箱內(nèi)設(shè)干表冷器。潔凈室內(nèi)的相對(duì)濕度由新風(fēng)機(jī)組保證,溫度由干表冷器保證。一、新風(fēng)處理及相對(duì)濕度保證新風(fēng)處理機(jī)組中設(shè)置初、中、高效三級(jí)過(guò)濾,以去除室外空氣中的灰塵粒子,設(shè)高效過(guò)濾器很有必要,可以延長(zhǎng)潔凈室頂部FFU內(nèi)ULPA過(guò)濾器的使用壽命;設(shè)置化學(xué)過(guò)濾器主要是去除室外空氣中對(duì)IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)氣體,根據(jù)工廠(chǎng)所在地的室外空氣品質(zhì)設(shè)置相應(yīng)的化學(xué)過(guò)濾器,化學(xué)過(guò)濾器后通常需設(shè)中效過(guò)濾器以去除化學(xué)過(guò)濾器本身的產(chǎn)塵;通過(guò)設(shè)在新風(fēng)處理機(jī)組內(nèi)的兩級(jí)表冷、兩級(jí)加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風(fēng)處理機(jī)組出口的干球溫度及露點(diǎn)溫度全年基本恒定,而機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度還應(yīng)根據(jù)其對(duì)應(yīng)送風(fēng)區(qū)域內(nèi)的相對(duì)濕度進(jìn)行連續(xù)的重新整定,以保證室內(nèi)的相對(duì)濕度。這里不以房間內(nèi)的相對(duì)濕度直接控制加濕器或表冷器,而以房間內(nèi)的相對(duì)濕度連續(xù)的重新整定機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度,再由該露點(diǎn)溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時(shí)的濕度控制。由于外網(wǎng)蒸汽中含有對(duì)IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì),新風(fēng)處理機(jī)組的加濕應(yīng)采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設(shè)在表冷器前,這樣可以使新風(fēng)處理機(jī)組有提高相對(duì)濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級(jí)純水(一級(jí)RO...
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一、安全保證措施1.在項(xiàng)目經(jīng)理領(lǐng)導(dǎo)下,以施工現(xiàn)場(chǎng)專(zhuān)職安全員為首,組織各施工隊(duì)、組,各工種的兼職安全員,成立現(xiàn)場(chǎng)安全管理小組,負(fù)責(zé)全工地的安全生產(chǎn)的教育、指導(dǎo)、監(jiān)督和管理2.加強(qiáng)對(duì)職工的安全思想教育,提高職工“安全第一、預(yù)防為主”的方針的認(rèn)識(shí),讓每個(gè)職工懂得安全生產(chǎn)“人人有責(zé)”。組織現(xiàn)場(chǎng)職工學(xué)習(xí),貫徹建筑安裝安全技術(shù)操作規(guī)程,對(duì)不同工種分別學(xué)習(xí)有關(guān)安全規(guī)程,堅(jiān)決貫徹執(zhí)行3.嚴(yán)格貫徹中華人民共和國(guó)建筑法第四十六條的規(guī)定“未經(jīng)安全生產(chǎn)教育培訓(xùn)的人員,不得上崗作業(yè)”。與每個(gè)職工簽訂安全責(zé)任協(xié)議,實(shí)行獎(jiǎng)罰制度,約束職工自覺(jué)遵守各項(xiàng)規(guī)章制度4.由專(zhuān)職安全員對(duì)工地現(xiàn)場(chǎng)的安全生產(chǎn)進(jìn)行經(jīng)常性的巡回檢查外,每星期組織一次現(xiàn)場(chǎng)安全管理小組對(duì)工地現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行一次安全生產(chǎn)檢查,促進(jìn)現(xiàn)場(chǎng)安全生產(chǎn)更上一臺(tái)階,消除一切安全隱患,到達(dá)安全生產(chǎn)預(yù)防為主的目的5.施工用電由專(zhuān)人負(fù)責(zé),接線(xiàn)正確,不得亂拖亂拉,機(jī)電設(shè)備應(yīng)一律設(shè)安全防護(hù)罩和接地、接零。機(jī)具操作由專(zhuān)人負(fù)責(zé),并安裝觸保器,做到一機(jī)一閘一觸保器,同時(shí)配有一箱一鎖。特殊工種操作者必須持證上崗,確保安全生產(chǎn)。夜間施工應(yīng)有足夠的照明,并有電工跟班6.切實(shí)做好現(xiàn)場(chǎng)施工管理工作,道路要平整、暢通,材料、構(gòu)件堆放有序且平穩(wěn)整齊。施工現(xiàn)場(chǎng)及職工生活區(qū)設(shè)置消防器材,在嚴(yán)禁明火的場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙,宿舍內(nèi)吸煙應(yīng)備有煙灰缸,不準(zhǔn)隨便亂丟煙頭?,F(xiàn)場(chǎng)設(shè)有醒目安全標(biāo)志及安全宣傳圖牌,增強(qiáng)職工安全意識(shí)...
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一、相關(guān)設(shè)計(jì)及規(guī)范要求(1)進(jìn)入施工現(xiàn)場(chǎng)的所有設(shè)備、主要材料及配件都應(yīng)有產(chǎn)品合格證或質(zhì)保書(shū),設(shè)備應(yīng)有銘牌,不合格的嚴(yán)禁進(jìn)場(chǎng)使用(2)各類(lèi)吊、支托架、管道、風(fēng)管法蘭等需防腐處理的金屬件在安裝前應(yīng)嚴(yán)格除銹并刷防銹漆(埋地應(yīng)刷兩度防銹漆),竣工前應(yīng)刷面漆,各類(lèi)管道的色標(biāo)應(yīng)按設(shè)計(jì)或規(guī)范要求執(zhí)行,并在主干管上標(biāo)有流向標(biāo)記(3)室內(nèi)給水支管(管徑20及以下)的安裝,管道在轉(zhuǎn)角、水表水龍頭或角閥及管道終端100mm處應(yīng)設(shè)管卡,管卡必須安裝牢固,水管管徑在40及以上的,應(yīng)采用U型鋼、U字螺栓或吊架固定,必要時(shí)按要求設(shè)置固定支架(4)消防箱消防栓口應(yīng)朝外,栓口中心距地面高度應(yīng)符合規(guī)范,允許偏差不大于20mm (5)管道焊接連接時(shí)應(yīng)根據(jù)鋼管的壁厚在對(duì)口處留有一定的間隙1至3mm,并按規(guī)范規(guī)定坡口,焊縫應(yīng)平整、飽滿(mǎn)。焊波均勻一致,寬度和高度應(yīng)符合規(guī)范規(guī)定,焊瘤、飛濺、藥渣等應(yīng)及時(shí)清除(6)衛(wèi)生器具安裝完畢應(yīng)進(jìn)行24小時(shí)盛水試驗(yàn)。衛(wèi)生器具固定必須牢固無(wú)松動(dòng),不得使用木螺絲。便器固定螺栓應(yīng)使用鍍鋅件,并用軟墊片和平墊片壓緊,不得使用彈簧墊片。嚴(yán)禁在多孔磚或輕型隔墻中使用膨脹螺栓固定衛(wèi)生器具二、設(shè)備安裝1)設(shè)備吊裝冷卻塔設(shè)置在廠(chǎng)房屋頂,因此在設(shè)備進(jìn)場(chǎng)并驗(yàn)收合格后,將組織力量進(jìn)行吊裝作業(yè)。吊裝前,必須組織相關(guān)單位、人員對(duì)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行勘測(cè),一致確認(rèn)滿(mǎn)足吊裝要求,建立吊裝應(yīng)急機(jī)制。吊裝時(shí),必須請(qǐng)專(zhuān)業(yè)吊裝公司進(jìn)行吊裝,并...
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一、支、吊架制作安裝管道的支、吊架制作時(shí)應(yīng)根據(jù)圖紙?jiān)O(shè)計(jì)的要求進(jìn)行。管道活動(dòng)支、吊架的具體形式和設(shè)置位置根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況確定。安裝前,先定位放線(xiàn),根據(jù)設(shè)計(jì)要求及規(guī)范選用支、吊架材料。管道支、吊架設(shè)置于保溫層外部,在穿過(guò)支、吊架處應(yīng)鑲以墊木。支吊架制作、組對(duì)時(shí)先點(diǎn)焊,檢查合格后方可正式焊接,使支、吊架的型式、材質(zhì)、加工尺寸及焊接符合規(guī)范要求,制作完成后及時(shí)進(jìn)行防銹處理。安裝時(shí)應(yīng)根據(jù)設(shè)計(jì)要求進(jìn)行放線(xiàn)并合理布置支架的安裝和受力部件必須符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。支吊架應(yīng)牢固緊密的固定在墻、柱或其他錨固預(yù)埋件或結(jié)構(gòu)物上。若管道過(guò)長(zhǎng)時(shí),應(yīng)按要求加設(shè)固定支架。二、、管道的制作、安裝管道的制作、安裝是工程的重點(diǎn)內(nèi)容,對(duì)于不同材質(zhì)的管材,采用不同的施工方法:1)、無(wú)縫鋼管(1)無(wú)縫鋼管使用前應(yīng)除銹、刷漆(2)在正確測(cè)量的基礎(chǔ)上,按實(shí)測(cè)尺寸下料,可采用手工、機(jī)械切割,切割的管口應(yīng)平整,內(nèi)壁毛刺及時(shí)清除干凈。對(duì)焊的管口必須根據(jù)工藝要求進(jìn)行倒坡(3)焊條、焊劑使用前應(yīng)根據(jù)出廠(chǎng)說(shuō)明書(shū)的規(guī)定進(jìn)行烘干,并在使用過(guò)程中保持干燥。焊條藥皮應(yīng)無(wú)脫落和顯著裂紋。焊縫要飽滿(mǎn),無(wú)咬口,焊接后焊渣要清理干凈(4)管段與管段連接采用法蘭盤(pán)連接或管道與法蘭閥門(mén)連接者,須按設(shè)計(jì)要求和工作壓力選用標(biāo)準(zhǔn)法蘭盤(pán)。法蘭盤(pán)的連接螺栓直徑、長(zhǎng)度及法蘭盤(pán)連接襯墊應(yīng)符合設(shè)計(jì)及規(guī)范要求。管材與法蘭盤(pán)焊接時(shí)先點(diǎn)焊2~3點(diǎn)后再找平找正后兩面焊接(5)各級(jí)焊縫質(zhì)...
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施工工序:通風(fēng)技術(shù)、物資準(zhǔn)備→圖紙交底→洞、孔預(yù)埋→風(fēng)管制作→管道安裝→設(shè)備安裝→設(shè)備調(diào)試→風(fēng)量平衡測(cè)試→系統(tǒng)調(diào)試交驗(yàn)一、相關(guān)設(shè)計(jì)及規(guī)范要求(1)空調(diào)通風(fēng)管道的鍍鋅鋼板厚度按照現(xiàn)行規(guī)范執(zhí)行。風(fēng)管的彎曲半徑為0.5A(A為轉(zhuǎn)彎邊邊長(zhǎng));(2)風(fēng)管的三通或四通可采用三、四通管式或馬鞍管式,具體情況視現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況而定;(3)空調(diào)風(fēng)管法蘭制作采用熱軋等邊角鋼。角鋼法蘭制作時(shí),應(yīng)在平臺(tái)設(shè)置卡具,使成型法蘭表面平整度誤差≯2mm,對(duì)角線(xiàn)誤差≯2mm。圓形法蘭任意正交兩直徑之差≯2mm;(4)角鋼法蘭鉆孔時(shí),應(yīng)采用無(wú)誤差標(biāo)準(zhǔn)法蘭配對(duì)鉆孔,同一批量加工的相同規(guī)格法蘭的螺孔排列應(yīng)一致, 并具有互換性;(5)空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管螺孔間距≯100mm,鉚釘孔間距≯100mm; 機(jī)械排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管螺孔鉚釘間距≯120mm;法蘭應(yīng)四角設(shè)螺栓;螺栓、螺母、鉚釘、墊圈等均應(yīng)為鍍鋅件; (6)法蘭間墊料采用閉孔海綿橡膠墊,厚度為6mm,墊料接縫處應(yīng)采用梯形或企口接口,不得對(duì)接。安裝時(shí)兩面涂膠粘牢,墊料內(nèi)側(cè)應(yīng)與風(fēng)管內(nèi)部齊平。風(fēng)管軟接頭采用高強(qiáng)度光面合成革,安裝時(shí)光面向內(nèi),接縫處應(yīng)嚴(yán)密; (7)風(fēng)閥、風(fēng)口等部件在組對(duì)時(shí),必須清除內(nèi)、外表面油脂、污垢、積塵;(8)室內(nèi)風(fēng)管支吊架制作按規(guī)范制作,吊桿采用φ8~φ10圓鋼制作。吊點(diǎn)應(yīng)垂直于地面,吊點(diǎn)間距3m左右。吊點(diǎn)不應(yīng)設(shè)置于風(fēng)閥、風(fēng)口部位。防火閥等較重部件應(yīng)單獨(dú)設(shè)置吊點(diǎn)。風(fēng)管橫擔(dān)角...
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施工工序:電氣技術(shù)、物資準(zhǔn)備→圖紙交底→管路預(yù)埋→配電柜(箱)安裝→橋架、保護(hù)管敷設(shè)→電線(xiàn)電纜、母線(xiàn)敷設(shè)→燈具、器具安裝→設(shè)備、器具安裝→送電、單體調(diào)試→系統(tǒng)調(diào)試交驗(yàn)一、防雷接地系統(tǒng)該工程利用基礎(chǔ)鋼筋作接地體,基礎(chǔ)內(nèi)不少于2根主筋焊接連通形成環(huán)網(wǎng),并與樁內(nèi)鋼筋連接。屋面防雷裝置通過(guò)引下線(xiàn)(柱內(nèi)主筋)與基礎(chǔ)接地網(wǎng)連通。配電間設(shè)總等電位端子箱MEB,由—25*4鍍鋅扁鋼從接地網(wǎng)引至。(1)接地體(線(xiàn))的連接應(yīng)采用搭焊接,其長(zhǎng)度必須滿(mǎn)足:扁鐵寬度為2倍(至少三個(gè)棱邊焊接);圓鋼直徑的6倍;圓鋼與扁鐵連接時(shí),其長(zhǎng)度為圓鋼的6倍;扁鐵與鋼管(或角鐵)焊接時(shí),為了焊接可靠,除應(yīng)在其接觸部位兩側(cè)進(jìn)行焊接外,還需用鋼帶彎成的弧形(或直角形)卡子,或直接用鋼帶本身彎成弧形(或直角型)與鋼管(或角鐵)焊接;(2)所有引入建筑物的金屬管道、電纜金屬外皮等均應(yīng)與接地裝置作等電位連接,做法按國(guó)標(biāo)圖集《等電位聯(lián)結(jié)安裝》;(3)電氣設(shè)備每個(gè)接地部分應(yīng)以單獨(dú)的接地干線(xiàn)相連接,不得在一個(gè)接地線(xiàn)中串接幾個(gè)需要接地部分;(4)接地線(xiàn)跨越建筑伸縮縫,沉降縫時(shí),應(yīng)加設(shè)補(bǔ)償器,所用扁鐵彎成s2型狀代替;(5)設(shè)置接地電阻檢測(cè)點(diǎn),測(cè)試值應(yīng)滿(mǎn)足設(shè)計(jì)要求。二、盤(pán)、柜及橋架安裝(1)配電柜(箱)在搬運(yùn)和安裝時(shí),應(yīng)有防震、防潮、防止柜架變形和漆面受損措施; (2)基礎(chǔ)槽鋼安裝,垂直度、水平度的允許偏差應(yīng)符合規(guī)定。型鋼應(yīng)固定牢固,接地良...
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隨著電子技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品越來(lái)越多地應(yīng)用于各類(lèi)生產(chǎn)生活領(lǐng)域。與之相適應(yīng),電子生產(chǎn)廠(chǎng)房的修建也與日俱增。其中的接地技術(shù)較常規(guī)的建筑接地種類(lèi)繁多,涉及面廣。接地系統(tǒng)根據(jù)用途具體可分為電源系統(tǒng)接地、電氣保護(hù)接地、防靜電接地、信息系統(tǒng)的接地、電子設(shè)備接地、防雷接地幾個(gè)種類(lèi)。1、電源系統(tǒng)接地在某電子廠(chǎng)房設(shè)計(jì)中使用TN-S系統(tǒng)。變壓器中性點(diǎn)接地,系統(tǒng)的保護(hù)線(xiàn)與中性線(xiàn)完全分開(kāi),這種方式對(duì)供電、保護(hù)、經(jīng)濟(jì)合理性等均十分有利,其選擇原則與常規(guī)建筑一致。對(duì)于傳達(dá)室等距離主體建筑較遠(yuǎn)的零星建筑單體,采用帶PE線(xiàn)的五芯電力電纜予以供電,距離超過(guò)50米以上的建筑須按規(guī)范要求重復(fù)接地。2、電氣保護(hù)接地采用TN-S系統(tǒng)時(shí),電氣設(shè)備不帶電的金屬外露部分與電力網(wǎng)的接地點(diǎn)采用直接電氣連接。當(dāng)帶電相線(xiàn)因絕緣損壞碰設(shè)備外殼時(shí),通過(guò)設(shè)備外殼構(gòu)成該故障相對(duì)地線(xiàn)的單相短路。利用很大的短路電流,使線(xiàn)路上的保護(hù)裝置(如熔斷器、低壓斷路器等)迅速動(dòng)作,切斷電路,從而消除人身觸電危險(xiǎn)。在電子生產(chǎn)廠(chǎng)房中,生產(chǎn)流水線(xiàn)上設(shè)備密集,且多為金屬外殼的用電設(shè)備。若保護(hù)接地不到位或不符合要求,在發(fā)生接地故障時(shí),很容易引起工作人員觸電危險(xiǎn)。因此,保護(hù)接地問(wèn)題不容忽視,無(wú)論在設(shè)計(jì)過(guò)程還是施工過(guò)程中,都應(yīng)切實(shí)地把保護(hù)接地落實(shí)到位。應(yīng)進(jìn)行保護(hù)接地的物體主要包括:變壓器、高壓開(kāi)關(guān)柜、配電柜、控制屏等的金屬框架或外殼;固定式、攜帶式及移動(dòng)式用電器具的金屬外殼...
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一、微電子廠(chǎng)房特點(diǎn)隨著科技技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品生產(chǎn)日新月異,以微電子產(chǎn)品為代表的各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速?,F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化高純度、高質(zhì)量和高可靠性,以人們熟悉的手機(jī)、筆記本電腦為例,它所使用的集成電路電子元器件以及其組裝的生產(chǎn)過(guò)程都要求在受控環(huán)境條件下進(jìn)行操作。根據(jù)生產(chǎn)要求對(duì)室內(nèi)空氣的潔凈度、溫度、相對(duì)濕度以及壓力、噪聲、振動(dòng)、靜電等參數(shù)進(jìn)行控制的生產(chǎn)廠(chǎng)房。微電子廠(chǎng)房與其他工業(yè)廠(chǎng)房相比,空氣潔凈度等級(jí)高氣流方式大部分為單向流、送風(fēng)量大、室內(nèi)溫濕度要求高、噪聲振動(dòng)要求高、大開(kāi)間的開(kāi)放式生產(chǎn)布置。二、微電子廠(chǎng)房?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)目前微電子廠(chǎng)房的送風(fēng)方式主要有集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)和風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組三種形式。(1)集中送風(fēng)系統(tǒng)。室外新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)空調(diào)機(jī)組( MAU)處理裝置后,送至下技術(shù)夾層,室內(nèi)送風(fēng)經(jīng)過(guò)高架地板至下技術(shù)夾層,新風(fēng)和回風(fēng)在下技術(shù)夾層混合后經(jīng)表冷器(DCC干盤(pán)管)降溫,再經(jīng)軸流風(fēng)機(jī)增壓后的至送風(fēng)靜壓箱內(nèi),再通過(guò)高效過(guò)濾器送至潔凈生產(chǎn)層。集中送風(fēng)特點(diǎn):?jiǎn)蜗蛄鳉饬鞣绞降钠骄L(fēng)速為0.2~0.4m/s,換算成換氣次數(shù)可達(dá)到250~600次換氣次數(shù),整個(gè)環(huán)境送風(fēng)量大,軸流風(fēng)機(jī)將混合后的新風(fēng)和回風(fēng)通過(guò)風(fēng)管送至送風(fēng)靜壓箱內(nèi),則需要的軸流風(fēng)機(jī)風(fēng)量大、數(shù)量多。軸流風(fēng)機(jī)布置在回風(fēng)墻內(nèi)不易安裝檢修。通過(guò)風(fēng)管輸送流速高,所占用的回風(fēng)墻面積小。(2)隧道送風(fēng)。潔凈區(qū)的回風(fēng)經(jīng)回風(fēng)墻與新風(fēng)處理后的新風(fēng)...
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一、凈化空調(diào)設(shè)備安裝施工質(zhì)量驗(yàn)收的通用要求。1齊全的隨機(jī)文件,既代表了產(chǎn)品的內(nèi)涵質(zhì)量,又是安裝、運(yùn)行的依據(jù),相關(guān)各方均應(yīng)十分重視。2設(shè)備的開(kāi)箱檢查、驗(yàn)收是設(shè)備交接、安裝的重要環(huán)節(jié),應(yīng)根據(jù)具體工程情況確定由建設(shè)方和有關(guān)方共同進(jìn)行,并認(rèn)真做好開(kāi)箱、驗(yàn)收記錄。3設(shè)備的搬運(yùn)、吊裝、就位是設(shè)備安裝中十分重要的環(huán)節(jié),特別是大型、特殊結(jié)構(gòu)的凈化空調(diào)設(shè)備,規(guī)范規(guī)定中強(qiáng)調(diào):①應(yīng)符合產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)要求,做好相關(guān)保護(hù)工作,防止設(shè)備損壞,這是確保設(shè)備安全搬運(yùn)、吊裝、就位和在此過(guò)程人身安全的基本要求;②應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范中的有關(guān)規(guī)定,也是確保凈化空調(diào)設(shè)備安裝質(zhì)量的重要依據(jù),應(yīng)該認(rèn)真執(zhí)行。二、規(guī)范規(guī)定了高效空氣過(guò)濾器安裝前應(yīng)具備的條件和安裝驗(yàn)收的主控項(xiàng)目的內(nèi)容。潔凈廠(chǎng)房的高效空氣過(guò)濾器的安裝(包括安裝前、后的準(zhǔn)備和檢漏)質(zhì)量對(duì)空氣潔凈度的實(shí)現(xiàn)均至關(guān)重要,必須認(rèn)真、實(shí)實(shí)在在地按規(guī)定實(shí)施。三、風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組(FFU)的安裝和安裝前后的要求與高效空氣過(guò)濾器是相似的,但由于安裝FFU的吊頂上方的送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈室(區(qū))是“負(fù)壓”,所以FFU與吊頂板的密封方式一般均為機(jī)械密封。FFU的檢漏要求與高效空氣過(guò)濾器是相同的。四、潔凈層流罩一般用于空氣潔凈度等級(jí)為6級(jí)~7級(jí)的潔凈室(區(qū))內(nèi)局部要求提供5級(jí)的獨(dú)立空氣凈化設(shè)備,它是確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需較高的空氣潔凈度等級(jí)要求的重要手段,本條提出的潔凈層流罩安裝的主控項(xiàng)目?jī)?nèi)容,應(yīng)認(rèn)真執(zhí)...
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