![廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于某實(shí)驗(yàn)室動(dòng)物房空調(diào)風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)]( "廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于某實(shí)驗(yàn)室動(dòng)物房空調(diào)風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)")
一、風(fēng)量計(jì)算實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房的空調(diào)凈化系統(tǒng)要解決的兩個(gè)主要問題：防止交叉感染和臭氣的擴(kuò)散。實(shí)驗(yàn)動(dòng)物設(shè)施的污染源，除微生物外，還有氨、硫化物等發(fā)臭物質(zhì)。為防止發(fā)臭物質(zhì)的蓄積，實(shí)驗(yàn)動(dòng)物房的空調(diào)凈化系統(tǒng)一般采用全新風(fēng)方式。因此風(fēng)量的計(jì)算，主要是新風(fēng)量和排風(fēng)量計(jì)算。風(fēng)量一般采用經(jīng)驗(yàn)換氣次數(shù)，根據(jù)規(guī)范，普通環(huán)境換氣次數(shù)采用15次/h，屏障環(huán)境換氣次數(shù)采用20次/h，另外還需結(jié)合具體房間的負(fù)荷，比較消除負(fù)荷所需的風(fēng)量大小，個(gè)別設(shè)備散熱量大的房間換氣次數(shù)會(huì)大于經(jīng)驗(yàn)值。新風(fēng)量確定后，根據(jù)房間壓差，利用壓差滲透法，確定房間的排風(fēng)量。正壓區(qū)，新風(fēng)量大于排風(fēng)量，負(fù)壓區(qū)，反之。此外，工程中關(guān)于換氣次數(shù)的取值，有些項(xiàng)目會(huì)盲目的加大換氣次數(shù)，以確保能達(dá)到更好的潔凈效果，實(shí)際上15次/h是有很大的安全余量的，換氣次數(shù)加大，會(huì)導(dǎo)致空調(diào)負(fù)荷增大較多。二、空調(diào)系統(tǒng)劃分空調(diào)系統(tǒng)劃分需要結(jié)合具體的平面布局和動(dòng)物飼養(yǎng)環(huán)境進(jìn)行，主要依據(jù)： (1) 普通環(huán)境和屏障環(huán)境系統(tǒng)分開；(2)飼養(yǎng)動(dòng)物的種類，比如大動(dòng)物、小動(dòng)物分開；(3)房間使用功能如免疫區(qū)和攻毒區(qū)分開。另外各環(huán)境中又分為2個(gè)系統(tǒng)，服務(wù)于業(yè)主優(yōu)先使用的動(dòng)物房、走廊和輔助房間等為一個(gè)系統(tǒng)，另外的動(dòng)物房間單獨(dú)為一個(gè)系統(tǒng)，這樣可以滿足動(dòng)物較少時(shí)，只需要運(yùn)行其中的一個(gè)系統(tǒng)，從而節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用。所有組合式空調(diào)箱均配有：新風(fēng)段、初效過濾段、預(yù)熱段、中間段、預(yù)冷段、再冷段、中間段、再熱段、蒸...
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一、濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求，由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響，其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)格要求，對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的配置，則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。一般的，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2℃，RH=45±5%；而對(duì)于這個(gè)溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理，并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況，使得這個(gè)問題十分突出。因此，在最新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式，達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著收益。二、工程實(shí)例（一）設(shè)計(jì)條件及要求：a、室內(nèi)要求：T=22±2℃；RH=50±5%；TL=11.5℃；d=8g/kg；b、潔凈級(jí)別：10K ( 10000級(jí)) ；c、體積：S=2000m2；H=2. 8m；d、工作人員：30名...
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一、鋰電池產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求分析根據(jù)工藝需求特點(diǎn)，可以大致將鋰電池生產(chǎn)廠房對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的濕度需求分為以下三類：1)普通濕度需求空調(diào)房間，如負(fù)極涂布間等房間，其濕度控制需求為≤60%，該需求可通過冷卻除濕實(shí)現(xiàn)。2)低濕需求空調(diào)房間，如正極輥壓間、正極分條間、正極模切間以及正極二分間等房間，其濕度控制需求為≤20%，以及正極涂布間、負(fù)極輥壓間、負(fù)極分條間、負(fù)極模切間以及負(fù)極二分間等房間，其濕度控制需求為≤45%，該需求通過冷卻除濕很難實(shí)現(xiàn)，因此往往通過轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)組處理后來滿足使用需求，機(jī)組中設(shè)置一級(jí)轉(zhuǎn)輪。3)低露點(diǎn)濕度需求空調(diào)房間，如干燥間、化成間以及注液間等房間，其濕度控制需求為露點(diǎn)≤-50℃，甚至更高，該需求現(xiàn)有的一級(jí)轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)組很難滿足工藝需求，工程中一般設(shè)置兩級(jí)轉(zhuǎn)輪除濕段對(duì)房間空氣進(jìn)行處理，以滿足使用需求。二、鋰電池生產(chǎn)行業(yè)除濕方式的選擇和確定現(xiàn)行的空氣除濕方式有很多種，包括冷卻除濕，液體吸附劑除濕，固體吸附劑除濕，膜除濕等。在實(shí)際應(yīng)用中，單一除濕技術(shù)很難滿足要求，而且從節(jié)能角度考慮，多種除濕技術(shù)聯(lián)合使用能綜合各種技術(shù)的優(yōu)勢(shì)、規(guī)避自身不足，在節(jié)能的同時(shí)提高除濕的效率。目前，空氣除濕主要有冷卻除濕和轉(zhuǎn)輪除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中，冷卻除濕在高溫高濕的環(huán)境且對(duì)濕度要求不是很嚴(yán)格的條件下，效果還是比較好，但在除濕量比較大且環(huán)境溫度比較低的環(huán)境中，濕度和溫度要求比較高的地方，采用冷卻除...
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一、分析醫(yī)藥生物類潔凈廠房的特點(diǎn)及火災(zāi)危險(xiǎn)性所謂的潔凈廠房是指在建設(shè)進(jìn)程有特殊要求凈化車間。由于潔凈廠房在使用上的特殊性，決定了其建筑結(jié)構(gòu)、布局、功能分區(qū)等方面不同于一般建筑物的施工，潔凈廠房具有的特殊性和復(fù)雜性。再結(jié)合醫(yī)藥生物類企業(yè)特點(diǎn)，可以把醫(yī)藥生物類潔凈廠房的特點(diǎn)歸為以下幾類：1.建筑和裝修材料大多數(shù)是可燃材料。由于潔凈廠房需要特殊，常使用許多新的復(fù)合材料，加之一些施工單位缺乏消防知識(shí)，選擇顏色鋼鐵和泡沫，增加了火災(zāi)發(fā)生的概率，且這些材料燃燒，會(huì)產(chǎn)生大量的有毒氣體。2.醫(yī)學(xué)潔凈廠房由于清潔無菌工藝要求，密封性好，火災(zāi)發(fā)生后室內(nèi)溫度迅速升高，熱量難以散發(fā)，使可燃物很快達(dá)到燃點(diǎn)而促使火勢(shì)擴(kuò)大，且火勢(shì)沿內(nèi)部風(fēng)管迅速蔓延至各個(gè)角落，煙霧覆蓋面積大，能見度低，致使人員疏散困難，極易窒息，搜救工作難度大，人員傷亡率較高。3.制藥行業(yè)潔凈廠房經(jīng)常使用各種易燃易爆危險(xiǎn)化學(xué)品，比如使用環(huán)氧乙烷、酒精、天然氣活躍的鎳、鈀炭等易燃易爆物品，制藥技術(shù)在殺菌過程中的火焰法和環(huán)氧乙烷法都有著很大的火災(zāi)危險(xiǎn)。二、設(shè)計(jì)好廠房的平面布置為了確保廠房的整體消防安全，在廠房建設(shè)前，應(yīng)由設(shè)計(jì)單位、建設(shè)單位、使用單位、設(shè)備安裝或供應(yīng)單位對(duì)廠房的整體布置提前進(jìn)行科學(xué)論證。在廠房的平面布置上，重點(diǎn)應(yīng)注意以下兩個(gè)方面：首先，易燃易爆的工藝或設(shè)備間應(yīng)盡可能安排在廠房外，或者與廠房貼鄰。如果是特殊情況必須布置在廠房?jī)?nèi)的，應(yīng)該緊...
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![廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于某電子級(jí)磷酸生產(chǎn)廠房的凈化空調(diào)設(shè)計(jì)]( "廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于某電子級(jí)磷酸生產(chǎn)廠房的凈化空調(diào)設(shè)計(jì)")
電子級(jí)磷酸屬于高純磷酸，是電子行業(yè)使用的一種超高純化學(xué)試劑，屬于電子化學(xué)品系列產(chǎn)品之，是電子工業(yè)不可替代的無機(jī)化工產(chǎn)品。電子級(jí)磷酸廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器等微電子工業(yè)，主要用于芯片的清洗和蝕刻，其純度和潔凈度對(duì)電子、元器件的成品率、電性能及可靠性有很大影響。而環(huán)境控制是電子級(jí)磷酸項(xiàng)目的質(zhì)量保障體系之一，具有十分重要作用。大氣中所含塵埃和多雜質(zhì)，會(huì)對(duì)高純度的電子級(jí)磷酸產(chǎn)品造成污染，因此必須在產(chǎn)品制備過程中和分析檢測(cè)過程中，對(duì)各個(gè)環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進(jìn)行潔凈化處理，達(dá)到相應(yīng)的潔凈度要求。除工藝空氣必須經(jīng)物理和化學(xué)方法凈化，以免帶入固體微粒等雜質(zhì)外，生產(chǎn)車間、輔助車間、實(shí)驗(yàn)室等都有清潔度要求。由于電子級(jí)磷酸質(zhì)量不僅與生產(chǎn)工藝有關(guān)，而且與超凈生產(chǎn)環(huán)境密切相關(guān)。因此必須在產(chǎn)品制備過程和分析檢測(cè)過程中，對(duì)各個(gè)環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進(jìn)行潔凈化處理，達(dá)到相應(yīng)的潔凈度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)一、空調(diào)負(fù)荷空調(diào)負(fù)荷主要由圍護(hù)結(jié)構(gòu)傳熱、人體散熱、室內(nèi)照明散熱、室內(nèi)設(shè)備散熱、室內(nèi)散濕過程產(chǎn)生的潛熱和新風(fēng)負(fù)荷等部分組成。經(jīng)計(jì)算，本工程夏季空調(diào)系統(tǒng)耗冷量為214kW，選用一臺(tái)制冷量為226. 4kW水冷螺桿式冷水機(jī)組；冬季空調(diào)系統(tǒng)耗熱量為345kW，熱源由廠區(qū)鍋爐房提供。二、換氣次數(shù)根據(jù)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中提出的換氣次數(shù)與潔凈度的關(guān)系，ISO Class6潔凈度要求的換氣次數(shù)為50~60次/h，...
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一、醫(yī)藥潔凈空調(diào)潔凈度設(shè)計(jì)潔凈室是室內(nèi)空氣潔凈度達(dá)到一定級(jí)別的房間，空氣潔凈級(jí)別依據(jù)每立方米空氣中的微粒數(shù)來確定。各個(gè)國家對(duì)空氣潔凈級(jí)別的劃分有不同的標(biāo)準(zhǔn)?！端幤飞a(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》規(guī)定一萬級(jí)潔凈區(qū)每立方米空氣中0.5μm塵粒數(shù)≤350000，≥5μm塵粒數(shù)2000，浮游菌數(shù)≤100，沉降菌數(shù)≤3/皿；十萬級(jí)潔凈區(qū)每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)≤3500000，≥5μm塵粒數(shù)≤20000，浮游菌數(shù)≤500，沉降菌數(shù)≤10/皿。凈化空調(diào)系統(tǒng)通過對(duì)空氣進(jìn)行凈化處理(過濾)以達(dá)到規(guī)定的潔凈級(jí)別要求。以前較常見的做法是：只給主要房間送風(fēng)，其余房間利用其回風(fēng)或由潔凈走廊回風(fēng)，房間頂部布置回風(fēng)口。這種方法施工方便，但造成各房間交叉污染。初效過濾器、中效過濾器置于空調(diào)機(jī)組內(nèi)，高效過濾器(或亞高效)置于各房間頂部(若吊頂空間不夠也可置于房間上側(cè)面)，由房間下側(cè)部回風(fēng)。各房間(包括潔凈走廊)均設(shè)置送回(排)風(fēng)口，上送下側(cè)回(排)。這種氣流組織方法利于單獨(dú)調(diào)整各房間的正壓，減少各房間之間的影響，系統(tǒng)潔凈度提高。二、醫(yī)藥潔凈空調(diào)溫濕度設(shè)計(jì)醫(yī)藥潔凈廠房據(jù)產(chǎn)品品種、潔凈級(jí)別、運(yùn)行班次、使用時(shí)間等劃分為不同的潔凈空調(diào)系統(tǒng)，潔凈室的溫度一般控制在18~26℃，相對(duì)濕度控制在45%~65%，常采用一次回風(fēng)處理方案。其處理方法和具體計(jì)算與一般舒適空調(diào)有所不同，加上每個(gè)系統(tǒng)房間較多，各個(gè)房間熱濕負(fù)荷不同，設(shè)計(jì)時(shí)較難兼...
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一、醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)部污染的產(chǎn)生醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)有大量的工藝設(shè)備、運(yùn)輸工具及工作人員，這些工藝設(shè)備、運(yùn)輸工具、人員本身會(huì)產(chǎn)生粉塵、濕熱氣體、異味及細(xì)菌等污染物，構(gòu)成了潔凈區(qū)內(nèi)的污染源?？刂茲崈魠^(qū)內(nèi)部污染物的擴(kuò)散，也是醫(yī)藥廠房潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)的重要內(nèi)容。二、控制醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)部污染方式探討1.產(chǎn)生粉塵房間的污染控制藥品生產(chǎn)過程中有許多工序可能產(chǎn)生粉塵，如粉碎篩分、制粒、膠囊充填等工序，如果這些房間空調(diào)氣流組織不合理，會(huì)造成粉塵擴(kuò)散，從而影響到該房間空氣潔凈度。以粉碎間為例，設(shè)計(jì)中送、排風(fēng)口可能有幾種布置方式：方案A投料口的粉塵可能會(huì)隨氣流擴(kuò)散至整個(gè)房間，導(dǎo)致房間潔凈度超標(biāo)；方案B通過局部排風(fēng)罩，雖可以有效控制投料口的產(chǎn)塵，但可能使局部排風(fēng)罩上形成氣流死角，造成新的積塵點(diǎn)，產(chǎn)生新的污染源；方案C在靠近投料口側(cè)墻上部和房間側(cè)墻底部均設(shè)置排風(fēng)口，可有效控制投料口和出料口的粉塵擴(kuò)散，防止其污染房間其他區(qū)域。綜上所述，方案C既可以防止粉塵擴(kuò)散，又不影響房間的氣流組織，應(yīng)為最佳方案。2.產(chǎn)生濕熱氣體房間的污染控制制藥生產(chǎn)線潔凈區(qū)同時(shí)還有部分工序會(huì)產(chǎn)生濕熱氣體，這些房間很可能因?yàn)闈駸釟怏w的散發(fā)，使?jié)崈魠^(qū)內(nèi)的溫、濕度長期無法滿足設(shè)計(jì)要求。因此，在設(shè)計(jì)中必須考慮快速將房間中的濕熱氣體排走，如果我們按普通潔凈區(qū)做法，采用上送下側(cè)回的方式，會(huì)造成以下幾個(gè)問題：(1)濕熱氣體無法快速被排走，潔凈區(qū)內(nèi)溫度過高，...
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《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》對(duì)潔凈廠房疏散走廊明確提出了機(jī)械排煙要求，但對(duì)于潔凈室沒有明確規(guī)定一定要設(shè)機(jī)械排煙，實(shí)際工程中各地消防部門對(duì)于集成電路廠房潔凈室是否設(shè)排煙的問題上要求也不一致；但集成電路生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會(huì)將整個(gè)廠房進(jìn)行投保，由于集成電路生產(chǎn)中要使用多種易燃的氣體和液體，保險(xiǎn)商一般均要求潔凈室設(shè)置機(jī)械排煙措施，否則增加保費(fèi)。所以在集成電路潔凈工程中，潔凈室機(jī)械排煙經(jīng)常是不可回避的問題。集成電路廠房潔凈室國內(nèi)外目前常用的排煙方式有兩種：即下排煙和上排煙。一、下排煙方式下排煙一般是在潔凈室回風(fēng)下夾層或回風(fēng)豎井內(nèi)設(shè)置排煙口，當(dāng)潔凈室或潔凈室下夾層發(fā)生火災(zāi)時(shí)，則打開排煙口，開啟排煙風(fēng)機(jī)進(jìn)行排煙，此時(shí)新風(fēng)機(jī)組繼續(xù)運(yùn)行，往潔凈室上夾層內(nèi)補(bǔ)充新風(fēng)，并通過必要的閥門切換使上夾層與潔凈室和下夾層隔開，上夾層內(nèi)新風(fēng)由FFU送入室內(nèi)。采用下排煙必須有以下條件：即潔凈室發(fā)生火災(zāi)時(shí)，潔凈室頂部FFU下吹的斷面風(fēng)速必須大于煙氣上升的速度，否則煙氣會(huì)在潔凈室頂部積聚。通常FFU下吹速度為0.25~0.5m/s，而火災(zāi)的熱釋放率只要大于3kW，煙氣的上升速度就會(huì)大于0.5m/s，所以下排煙方式只是在潔凈室發(fā)生小火災(zāi)時(shí)有效。下排煙方式最近幾年在國外的一些集成電路廠房中得到應(yīng)用，但國內(nèi)工程中用得較少。二、上排煙方式上排煙是在潔凈室吊頂上設(shè)置排煙口，通過排煙風(fēng)管將各排煙口連接至排煙風(fēng)機(jī)，當(dāng)潔凈室發(fā)生火災(zāi)時(shí)，打開排煙...
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![廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于集成電路制造各工藝環(huán)境控制要求]( "廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于集成電路制造各工藝環(huán)境控制要求")
集成電路潔凈廠房是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室，該潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD (靜電控制)、AMC(氣態(tài)分子級(jí)污染物)控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。一、FFU系統(tǒng)已成主流方案根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。第一種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈室則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計(jì)方案。FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。二、AM...
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IC 生產(chǎn)由于其工藝加工線寬極小，所以對(duì)溫濕度的精度要求很高，通常溫度精度為土0.3~±0.5℃，相對(duì)濕度精度為±2%~±3%。該類廠房潔凈室一般采用新風(fēng)集中處理加FFU系統(tǒng)，在下夾層或.上靜壓箱內(nèi)設(shè)干表冷器。潔凈室內(nèi)的相對(duì)濕度由新風(fēng)機(jī)組保證，溫度由干表冷器保證。一、新風(fēng)處理及相對(duì)濕度保證新風(fēng)處理機(jī)組中設(shè)置初、中、高效三級(jí)過濾，以去除室外空氣中的灰塵粒子，設(shè)高效過濾器很有必要，可以延長潔凈室頂部FFU內(nèi)ULPA過濾器的使用壽命；設(shè)置化學(xué)過濾器主要是去除室外空氣中對(duì)IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)氣體，根據(jù)工廠所在地的室外空氣品質(zhì)設(shè)置相應(yīng)的化學(xué)過濾器，化學(xué)過濾器后通常需設(shè)中效過濾器以去除化學(xué)過濾器本身的產(chǎn)塵；通過設(shè)在新風(fēng)處理機(jī)組內(nèi)的兩級(jí)表冷、兩級(jí)加熱以及潔凈蒸汽加濕器保證新風(fēng)處理機(jī)組出口的干球溫度及露點(diǎn)溫度全年基本恒定，而機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度還應(yīng)根據(jù)其對(duì)應(yīng)送風(fēng)區(qū)域內(nèi)的相對(duì)濕度進(jìn)行連續(xù)的重新整定，以保證室內(nèi)的相對(duì)濕度。這里不以房間內(nèi)的相對(duì)濕度直接控制加濕器或表冷器，而以房間內(nèi)的相對(duì)濕度連續(xù)的重新整定機(jī)組出口的露點(diǎn)溫度，再由該露點(diǎn)溫度控制加濕器或表冷器是為了得到更及時(shí)的濕度控制。由于外網(wǎng)蒸汽中含有對(duì)IC生產(chǎn)有影響的雜質(zhì)，新風(fēng)處理機(jī)組的加濕應(yīng)采用潔凈蒸汽。潔凈蒸汽加濕器通常設(shè)在表冷器前，這樣可以使新風(fēng)處理機(jī)組有提高相對(duì)濕度控制精度的潛能。有些工程中是以噴淋初級(jí)純水(一級(jí)RO...
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2025
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